TTJ20川崎重工業
スペック
| メーカー | 川崎重工業(日本) |
|---|---|
| 種類 | その他 |
| シリーズ | TTJ |
| 可搬重量 | — |
| リーチ | 1067.2 mm |
| 繰り返し精度 | ±0.05 mm |
| 本体質量 | — |
| 軸数 | — |
| 設置方式 | 床置き |
| 保護等級 | — |
| コントローラ | F60 |
| ステータス | 現行 |
| メーカー公式HP | 川崎重工業公式サイトで詳細スペック・カタログを確認する ↗ |
出典: メーカー公式公開資料(最終確認日: 2026-07-02)。掲載スペックは各メーカーの公式公開資料からの転記です。最新・正確な仕様は必ずメーカー公式資料でご確認ください。
この機種の特徴
半導体の前工程で、FOUPと製造装置の間をウェハが行き来する——TTJ20は、その大気側搬送をダブルハンドで担うウェハ搬送ロボットです。最大リーチ1067.2mmと独自のテレスコピック機構により、低い位置のパスラインから高い位置の棚まで、上下に広い範囲をスムーズにカバー。最大3台のFOUPに対応し、8/12インチウェハを扱うEFEMまわりで活躍します。スループットを少しでも高めたい半導体製造ラインや、複数ステーション間の搬送を効率化したい現場におすすめの一台です。ベースのTTJ10をダブルハンド化した本機は、一度の動作で2枚のウェハを扱える分、搬入と搬出を並行させやすく、サイクルタイムの短縮を狙える点が際立ちます。
公開情報をもとにロボットスコープ編集部が整理。
補足メモ
TTJ10のダブルハンド版ウェハ搬送ロボット
活用イメージ(動画)
この機種の公式紹介動画は未登録です。下のボタンから、実際の動作や現場での活用事例の動画を探せます。