TTJ10川崎重工業

この機種の特徴

川崎重工業 TTJ10は、半導体製造装置のなかでシリコンウェハを搬送するために設計されたウェハ搬送ロボットです。8インチ・12インチのウェハに対応し、最大3つのFOUPへアクセスできるため、ロードポートからプロセスチャンバーへとウェハを供給するEFEM内の搬送など、クリーンな前工程の現場で力を発揮します。±0.05mmの高い繰返し精度を備え、微細化が進む半導体ラインで確実な受け渡しを求める現場におすすめの一台です。床置きでリーチ1067.2mm、Zストローク740mmと縦方向に広く動けるのが本機の持ち味で、テレスコピック機構によって低位置のパスラインと高位置への搬送を一台で両立できる点は、シングルハンドのウェハ搬送ロボットならではの特徴といえます。

公開情報をもとにロボットスコープ編集部が整理。