NX420川崎重工業

この機種の特徴

半導体の前工程ライン、とくに8インチウェハの搬送ロボットとして設計された川崎重工業 NX420は、ミニエンバイロメント内でFOUPと装置の間を行き来し、シリコンウェハを次々と受け渡す現場で活躍します。最大2つのFOUPにアクセスでき、コンパクトなアーム設計で省スペースに収まるため、限られたクリーンルームに搬送工程を組み込みたい現場や、設置面積を抑えたい半導体製造ラインにおすすめです。バキューム・エッジグリップを選べる繰返し精度±0.05mmの安定搬送に加え、本機ならではの魅力は、ベースとなるコンパクト機NX411にダブルハンドを採用した点。1動作で2枚を扱える二刀流の構成が、入れ替えサイクルの効率化に効いてくる一台です。

公開情報をもとにロボットスコープ編集部が整理。