NX411川崎重工業
スペック
| メーカー | 川崎重工業(日本) |
|---|---|
| 種類 | その他 |
| シリーズ | NX |
| 可搬重量 | — |
| リーチ | 736 mm |
| 繰り返し精度 | ±0.05 mm |
| 本体質量 | — |
| 軸数 | — |
| 設置方式 | 床置き |
| 保護等級 | — |
| コントローラ | F60 |
| ステータス | 現行 |
| メーカー公式HP | 川崎重工業公式サイトで詳細スペック・カタログを確認する ↗ |
出典: メーカー公式公開資料(最終確認日: 2026-07-02)。掲載スペックは各メーカーの公式公開資料からの転記です。最新・正確な仕様は必ずメーカー公式資料でご確認ください。
この機種の特徴
川崎重工業のNX411は、半導体の製造ラインでシリコンウェハを傷つけずに運ぶための、いわゆる「クリーンロボット」です。装置とFOUP（ウェハを収めた搬送容器）の間でウェハを1枚ずつ正確に出し入れし、最大2つのFOUPに対応。リーチ736mm、繰返し精度±0.05mmで、エッジグリップによる8インチ・12インチウェハの安定したハンドリングを得意とします。クリーンルームの限られたスペースに装置を詰めて並べたい現場や、レイアウトの自由度を確保したい設備設計の担当者におすすめの一台です。何より、コンパクトなアーム設計で省スペース設置に振り切っている点が、床置きのウェハ搬送ロボットとしてのNX411ならではの個性といえそうです。
公開情報をもとにロボットスコープ編集部が整理。
補足メモ
省スペース設置向けコンパクトウェハ搬送ロボット。シングルハンド、最大2FOUP
活用イメージ(動画)
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