NV121川崎重工業
スペック
| メーカー | 川崎重工業(日本) |
|---|---|
| 種類 | その他 |
| シリーズ | NV |
| 可搬重量 | — |
| リーチ | 1050 mm |
| 繰り返し精度 | ±0.1 mm |
| 本体質量 | — |
| 軸数 | — |
| 設置方式 | — |
| 保護等級 | — |
| コントローラ | — |
| ステータス | 現行 |
| メーカー公式HP | 川崎重工業公式サイトで詳細スペック・カタログを確認する ↗ |
出典: メーカー公式公開資料(最終確認日: 2026-07-02)。掲載スペックは各メーカーの公式公開資料からの転記です。最新・正確な仕様は必ずメーカー公式資料でご確認ください。
この機種の特徴
半導体ウェハの製造ライン、とりわけプロセスチャンバー間でウェハを真空中で受け渡しする搬送工程に向けた一台です。リーチ1050mmで搬送モジュールの内側にしっかり手を伸ばし、繰返し±0.1mmの安定した位置決めでウェハをトレイやステージへ正確に置けます。クリーン環境での真空ウェハ搬送をこれから内製・自動化したい装置メーカーや、SiCパワー半導体など高温プロセスを扱う現場におすすめです。NVシリーズの真空搬送ロボットとして10^-5Pa台の高真空に対応し、SiC等の高温プロセスを見据えて設計されている点は、一般的な大気搬送機にはない、この機種ならではの守備範囲と言えそうです。
公開情報をもとにロボットスコープ編集部が整理。
補足メモ
高真空(10^-5Pa台)対応のウェハ搬送ロボット。SiC等の高温プロセス向け
活用イメージ(動画)
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