NTJ20川崎重工業
スペック
| メーカー | 川崎重工業(日本) |
|---|---|
| 種類 | その他 |
| シリーズ | NTJ |
| 可搬重量 | — |
| リーチ | 1067.2 mm |
| 繰り返し精度 | ±0.05 mm |
| 本体質量 | — |
| 軸数 | — |
| 設置方式 | 床置き |
| 保護等級 | — |
| コントローラ | F60 |
| ステータス | 現行 |
| メーカー公式HP | 川崎重工業公式サイトで詳細スペック・カタログを確認する ↗ |
出典: メーカー公式公開資料(最終確認日: 2026-07-02)。掲載スペックは各メーカーの公式公開資料からの転記です。最新・正確な仕様は必ずメーカー公式資料でご確認ください。
この機種の特徴
半導体の前工程で、ウェハをFOUP（搬送容器）から製造装置やEFEM（搬送モジュール）へ受け渡す——NTJ20はそうしたクリーンルーム内のウェハ搬送を担う一台です。独自の駆動機構による高精度でなめらかな動作と、8インチ・12インチウェハへの対応で、デリケートなウェハを傷めず安定して移します。最大3FOUPに無理なく手が届くリーチ1067.2mmと繰返し±0.05mmの精度を備えるため、限られたスペースに装置を詰め込みつつ高いスループットを求める半導体ラインにおすすめです。なかでも二枚同時に扱えるダブルハンド構成は、搬入と搬出を一度の動作で重ねられる強みで、シングルハンド機にはない搬送効率が期待できる構成といえます。
公開情報をもとにロボットスコープ編集部が整理。
補足メモ
ダブルハンド構成のウェハ搬送ロボット。最大3FOUP対応
活用イメージ(動画)
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