NTJ10川崎重工業
スペック
| メーカー | 川崎重工業(日本) |
|---|---|
| 種類 | その他 |
| シリーズ | NTJ |
| 可搬重量 | — |
| リーチ | 1067.2 mm |
| 繰り返し精度 | ±0.05 mm |
| 本体質量 | — |
| 軸数 | — |
| 設置方式 | 床置き |
| 保護等級 | — |
| コントローラ | F60 |
| ステータス | 現行 |
| メーカー公式HP | 川崎重工業公式サイトで詳細スペック・カタログを確認する ↗ |
出典: メーカー公式公開資料(最終確認日: 2026-07-02)。掲載スペックは各メーカーの公式公開資料からの転記です。最新・正確な仕様は必ずメーカー公式資料でご確認ください。
この機種の特徴
半導体や液晶製造のクリーンルームで、FOUP(密閉式ウェハ収納容器)からウェハを一枚ずつ取り出してEFEMや各装置へ受け渡す——NTJ10はそんな前工程の搬送ラインを担う水平多関節型のウェハ搬送ロボットです。8インチ・12インチの両ウェハに対応し、シングルハンドながら最大3FOUPまでをカバー。Zストローク470mmで複数段のロードポートにも手が届きます。クリーンルーム内のスペースを抑えつつ歩留まりを左右する微細な搬送を任せたい現場におすすめの一台です。バキュームとエッジグリップの両グリップから選べる柔軟さに加え、走行機構なしで複数FOUPに対応できる点は、設置レイアウトの自由度を求める前工程ラインで頼れる特徴といえそうです。
公開情報をもとにロボットスコープ編集部が整理。
補足メモ
クリーンルーム用ウェハ搬送ロボット(水平多関節型)。シングルハンド、Zストローク470mm、最大3FOUP対応
活用イメージ(動画)
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