NTH20川崎重工業
スペック
| メーカー | 川崎重工業(日本) |
|---|---|
| 種類 | その他 |
| シリーズ | NTH |
| 可搬重量 | — |
| リーチ | 1226.6 mm |
| 繰り返し精度 | ±0.05 mm |
| 本体質量 | — |
| 軸数 | — |
| 設置方式 | 床置き |
| 保護等級 | — |
| コントローラ | F60 |
| ステータス | 現行 |
| メーカー公式HP | 川崎重工業公式サイトで詳細スペック・カタログを確認する ↗ |
出典: メーカー公式公開資料(最終確認日: 2026-07-02)。掲載スペックは各メーカーの公式公開資料からの転記です。最新・正確な仕様は必ずメーカー公式資料でご確認ください。
この機種の特徴
半導体の前工程ライン、とりわけ複数のFOUPからウェハを出し入れするロード／アンロード工程で活躍する、川崎重工業のロングアーム型ウェハ搬送ロボットです。並行配置された最大4つのFOUPに対応し、8インチ・12インチのシリコンウェハを2枚同時に扱えるダブルハンドで搬送のリズムを途切れさせません。限られたクリーンルームの床に装置を効率よく並べたい現場や、走行装置を増やさず搬送範囲を広げたい半導体メーカーにおすすめです。F60コントローラと組み合わせる繰返し位置決め±0.05mmの安定性に加え、回転中心をずらしたオフセット型ロングアームによって、走行レールなしで4FOUPへ手が届く点が、この機種ならではの強みといえそうです。
公開情報をもとにロボットスコープ編集部が整理。
補足メモ
ロングアーム型ウェハ搬送ロボット。並行配置の最大4FOUPに対応、ダブルハンド
活用イメージ(動画)
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